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高端靶材自动化检测系统

在半导体芯片、平面显示器、太阳能电池等高科技领域的飞速发展中，靶材作为核心材料，其质量直接关系到产品的性能与可靠性。我们自豪地推出全新一代靶材自动化检测系统，以卓越的性能和先进的技术，为靶材行业树立新的质量标杆。
靶材自动化检测系统通过集成多种高精度传感器、执行机构和数据处理单元，实现了对靶材的自动化检测、数据采集、处理和分析。该系统能够模拟靶材在实际应用中的工作环境，结合了先进的自动化技术和无损检测技术，能够实现对靶材内部缺陷如杂质、裂纹等问题进行全面、细致的检测，确保靶材的质量符合相关标准和要求。

名称	小型水槽	中型水槽	大型水槽
外形尺寸：长宽高（mm）	2200mm（含操作台3000）19002000	3000mm（含操作台4600）20001750	5000（含操作台6600）27001950
XYZ轴行程	1200mm800mm400mm	2000mm1200mm500mm	40002000600
水槽尺寸	1350mm950mm400mm	2150mm1350mm500mm	4200mm2200mm600mm
XYZ轴模组重复定位精度	≤0.05mm	≤0.05mm	≤0.05mm
XYZ轴速度	X/Y≤300mm/s，Z≤200mm/s	X/Y≤1000mm/s，Z≤200mm/s	X/Y≤1000mm/s，Z≤200mm/s
排水按钮	操作界面按钮	操作界面按钮	操作界面按钮
是否有探头转接盒/线长	无转接盒（可选）	无转接盒（可选）	无转接盒（可选）
脉冲手轮	有	有	有
运动控制器	运动控制卡	PLC或运动控制卡	PLC或运动控制卡
电机控制方式	总线控制	总线控制	总线控制
驱动方式	直线电机	直线电机	直线电机
超声板卡	选配	选配	选配
超声探头	选配	选配	选配